離子刻蝕機RIE-10NR
加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1);
高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作;
自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護;
于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
去層研磨鑲嵌
加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1);
高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作;
自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護;
于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),能夠滿足非腐蝕性氣體化學苛刻的工藝要求。
計算機化觸摸屏為工藝配方編程和存儲提供了用戶友好的界面。
該系統(tǒng)可以實現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計,RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。
1、加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1)。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作。
3、自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護。
4、于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
基板 | 220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1) |
負載 | 開放式 |
上下電極 | ?240 mm |
射頻功率 | 可切換射頻供電電極(陽極/陰極模式)為選項 |
氣體管道 | 內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道(最多6條) |
泵 | 干泵(500升/分鐘) |
操作系統(tǒng) | 觸摸屏操作(可選擇基于Windows的用戶界面)、配方管理 |
端點檢測 | 光學發(fā)射光譜(OES)作為一種選擇 |
尺寸 | 500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高) |
Copyright © 2019, 上海儀準電子科技有限公司 滬ICP備16044249號
技術(shù)支持:匯成傳媒
| 国产AV中文字字幕乱码天堂庄园 | 人妻无码熟妇乱又视频 | 精品国产95久久久久久无码 | 国产91 在线播放九色竹菊影视 | 亚洲AV无码国产精品色密桃在线 | 台湾三级午夜理伦三级 | 91麻豆精品国产91久久久更新时间 | 91人妻人人做人人添人人爽动漫 | 午夜精品三级久久久有码 | 在线观看国产高清无码 | 亚洲乱码一区二区三区在线观看 | av免费观看网站在线网站 | 在线视频福利你懂的 | 91口爆吞精国产对白第三集 | 熟女嫩草老女人乱婬片 | 极品粉嫩小仙女高潮喷水久久 | 日韩人妻免费内射 | 欧美成人无码一二区免费网站黄 | 男女无遮挡动态图120秒 | 国产精品扒开腿做猛进入爽爽 | 一级夫妻录像免费观看 | 亚洲AV秘 无码一区小宵 | 欧美激情婬乱A片无码放荡娇妻 | 久久无码人妻一区二区三区 | 日韩精品一区二区三区熟女人妻 | 日本护士一级婬片A片AAA小说 | 天天爽天天干天天日 | wwyw913国产成人精品 | 小县城裸体舞一期二期 | 欧美真人无码视频免费软件一区 | 2019天天操天天射天天干 | 免费一级suv好看的国产网站 | 色欲av一区二区三区 | 精品人妻中文字幕无码蜜桃臀 | 亚洲中文无码在线观看 | 天天影视色欲综合插插插 | 一区二区三区国产豹纹内裤在线 | 欧美在线成人无码播放 | 成人 国产 免费观看爱豆传媒 | 91人妻中文字幕无码专区在线 |