離子刻蝕機RIE-10NR
加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1);
高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作;
自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護;
于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
去層研磨鑲嵌
加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1);
高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作;
自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護;
于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),能夠滿足非腐蝕性氣體化學苛刻的工藝要求。
計算機化觸摸屏為工藝配方編程和存儲提供了用戶友好的界面。
該系統(tǒng)可以實現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計,RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。
1、加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1)。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴格的工藝要求全自動“一鍵式”操作。
3、自動壓力控制,允許獨立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護。
4、于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個系統(tǒng)。
基板 | 220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1) |
負載 | 開放式 |
上下電極 | ?240 mm |
射頻功率 | 可切換射頻供電電極(陽極/陰極模式)為選項 |
氣體管道 | 內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道(最多6條) |
泵 | 干泵(500升/分鐘) |
操作系統(tǒng) | 觸摸屏操作(可選擇基于Windows的用戶界面)、配方管理 |
端點檢測 | 光學發(fā)射光譜(OES)作為一種選擇 |
尺寸 | 500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高) |
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