離子刻蝕機(jī)RIE-1C
設(shè)定好工藝配方后“一鍵式”操作
可處理一片4英寸晶片或多枚切片
工藝完成時(shí)響鈴?fù)ㄖ?/p>
安全設(shè)施以保護(hù)操作員和設(shè)備
緊湊式設(shè)計(jì)
小體積可節(jié)省空間
去層研磨鑲嵌
設(shè)定好工藝配方后“一鍵式”操作
可處理一片4英寸晶片或多枚切片
工藝完成時(shí)響鈴?fù)ㄖ?/p>
安全設(shè)施以保護(hù)操作員和設(shè)備
緊湊式設(shè)計(jì)
小體積可節(jié)省空間
RIE-1C是一種緊湊的反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)。該系統(tǒng)是潔凈室空間有限的實(shí)驗(yàn)室的理想解決方案,其設(shè)計(jì)可優(yōu)化刻蝕速率、均勻性和選擇性,尤其適合去除IC失效分析中的鈍化層。
RIE-1C是一種氟基蝕刻系統(tǒng),也可用于蝕刻硅基薄膜、難熔金屬、金屬硅化物和旋涂玻璃。配方設(shè)置完成,按一下按鈕就可以開始完整的基板/設(shè)備處理。
1、刻蝕鈍化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅。
2、金屬間介電層的刻蝕及剖面調(diào)整。
3、失效分析用集成電路板上殘留封裝材料的刻蝕。
4、光刻膠和聚酰亞胺的刻蝕。
5、硅、多晶硅、難熔金屬、硅化金屬、旋涂玻璃等的刻蝕。
1、設(shè)定好工藝配方后“一鍵式”操作。
2、可處理一片4英寸晶片或多枚切片。
3、工藝完成時(shí)響鈴?fù)ㄖ?/p>
4、安全設(shè)施以保護(hù)操作員和設(shè)備。
5、緊湊式設(shè)計(jì)。
6、小體積可節(jié)省空間。
反應(yīng)室 | 石英,?212 mm |
上下電極 | ?120mm、水冷 |
射頻功率 | 13.56MHz,200W晶體振蕩,手動(dòng)匹配 |
進(jìn)氣管 | 2條 |
壓力測量 | 隔膜表(0~2.66x 102 Pa) |
真空系統(tǒng) | 干泵(500L/min) |
尺寸 | 主機(jī):400毫米(寬)x 440毫米(深)x 325毫米(高) |
支架:400 mm(寬)x 620 mm(深)x 798 mm(高) |
021-34638926
Copyright © 2019, 上海儀準(zhǔn)電子科技有限公司 滬ICP備16044249號
技術(shù)支持:匯成傳媒
| 四川少妇性无套内谢 | 国产无套精品久久久久久范冰冰 | 美妇100p国产视频 | 全免费Av级毛片免费 | a激情视频在线观看免费 | 欧一美一交一乱一视一频二区 | 精品无码久久久久久国产牛牛影视 | 一级a做一级a做片性视频呀 | 波多野结衣无码视频流出 | 一级特黄a大片免费播放桃 国产乱国产乱老熟400部 | 骚虎影视作成人在线观看 | 亚洲无码高清中文字幕 | 久久久久9999妇女 | 女人19毛片一级毛片 | 免费婬片A片无码人妻 | 亚洲成人网站在线观看 | 国产高清标清无码av | 久久视频123ww成人 | 大乳奶一级婬片AAA片图片 | 搡BBBB搡BBB搡视频一级看 | 无码在线免费观看视频 | 肥岳仑交一区二区三区 | 亚洲综合憿情五月色丁香色婷婷 | GG人体大胆无码国模少妇 | 国产精品岛国久久久久久 | 丰满女与女人AAA一级黄 | 色情老女人乱码午夜视频 | 人妻熟妇区五十六十A片一二三区 | 黄 色 成 人 视 频 | 日日噜噜噜夜夜爽爽狠狠 | EEUSS影院www影院囗人 | 苍井さくら无码合集流出 | 女人18片毛片90分钟免费 | 欧美一级婬片A片无码专区野结衣 | 黄色小说在线观看免费 | 久久久无码精品亚洲日韩麻豆洲 | 无码精品人妻一区二区三区中 | 色情免费 无码 日韩 | 国产熟女偷窥高潮精品 | 成人一区二区三区在线午夜爱奇艺 |